産業(yè)用ロボット向機器
クリーンロボット非接觸
ワーク面の吸著跡、傷、汚れを防止
傷や吸著痕を嫌うワーク
液晶ガラス
たわみ防止
穴のあいたワーク
基板
注）穴の開口率1％以下
薄いワーク
フィルム、銅箔など
たわみ防止
非接觸チャック XT661
真空用機器 ? 特殊パッド半導體業(yè)界向機器 ? スリットバルブ?搬送
-
?ワークの非接觸搬送をアシスト
?ワーク吸引可能距離：10mm
?2種のタイプを用意
サイクロンタイプ：高リフト力：最大44Ｎ
ベルヌーイタイプ：把持時のワーク振幅：±0.01mm以下
