半導體及太陽能電池的制造過程中，晶片處理時使用的惰性氣體及特殊氣體的總稱。

特殊氣體主要是高壓儲氣瓶所提供的氣體的總稱，這些氣體會具有毒性、可燃性、助燃性、自燃性、腐蝕性等性質。

指工廠中大量使用的氮氣及氬氣等，將其制成液氮一樣的液化氣體進行運輸，并通過蒸發(fā)器將其氣化并進行供氣。

用于如半導體等需要極高潔凈度氣體的行業(yè)。具有使用SUS316L二次重熔或SUS316L材質，氣體接觸部分采用電解研磨處理及外部間隙密封等特點。

用于激光加工、分析、醫(yī)療等，不需要高潔凈度氣體的行業(yè)。材質可選擇SUS316或黃銅。

使用氣缸機殼及集裝式高壓儲氣瓶時，將儲氣瓶壓力減壓至管路壓力所使用的元件。

集裝式閥盒（VMB）等氣體分配盒等裝置中，設置于一次側高壓用減壓閥的下游，用于調節(jié)管路壓力的元件。

用于大宗氣體、BSGS（大宗特殊氣體系統(tǒng)）等，消耗大量的氣體的生產線的元件。

用于需要在低蒸汽壓氣體處使用，使減壓閥輸出側成為負壓的元件。

將輸入壓力減小，使輸出壓力保持在一定范圍的調壓閥。
AP、SL、AZ、AK系列為直動型非溢流型減壓閥，采用金屬隔膜，可用于工藝氣體。

一次側減壓閥是根據(jù)調節(jié)彈簧和氣壓的平衡而動作，因此輸入側壓力改變也會使輸出側壓力也隨之改變。
二次側減壓閥是一次側減壓閥兩個串聯(lián)的結構，先將輸入側壓力減壓至中間壓，再減至設定壓力，所以可以抑制輸入壓力對輸出壓力的影響，改善壓力特性。

膜片和（座閥式）閥芯相連接的結構，膜片處施加的輸出壓力使閥可以更穩(wěn)定，從而防止異物阻塞而引起的閥泄漏。

氣體接觸部分采用無彈簧結構。雖采用和膜片閥芯一體結構相同的膜片和（座閥式）閥芯相連接的結構，但閥芯沒有彈簧。

使輸入壓力保持在一定范圍的調壓閥，當輸入壓力高于設定壓力時，可以通過調壓閥將多余的壓力導入輸出側從而是壓力保持在一定范圍內。

由于通過金屬隔膜上下的運動而控制流路的開閉，也可作為氣體斷流閥使用。
由于隔膜為圓頂型并且具有彈性，接氣部沒有彈簧，并且隔膜將驅動部與接氣部隔開，所以流路的死空間很少，形成了不易產生顆粒的結構。

鎖定/標記，為了保護工廠的操作人員使用。
鎖定是切斷供給設備的氣流，并用鑰匙等固定以使其無法操作。標記是在操作設備上安裝警告標簽，以防止因誤操作等引起的事故。

輸入側或輸出側配管端口處焊接的清洗用端口，配管施工時或維護時在閥關閉的情況下清洗時使用。

閥體會防止流體的背壓引起逆流。
AP64系列是內部可活動零件只有O型密封圈的簡單結構，并且由于是不使用閥芯及彈簧的無彈簧結構，因此不必擔心零件的震動和震蕩等引起的顆粒產生及下流側的壓力改變。

利用氣體從噴嘴中高速噴出時，周邊的流體會被吸引產生低壓這一現(xiàn)象來形成真空的元件。
更換高壓儲氣瓶時，可以利用其排放配管中殘留的廢氣。
AP71、AP72系列是帶有閥和單向閥功能的模塊型元件。

AP71、AP72系列中，即使閥關閉時，也會有一定量的N2分流氣體會通過孔口流入排氣管線，在排氣管線需要時常保持不活動狀態(tài)的情況下十分有效。

可以檢測超過設定流量的過量流量，用于檢測由于管道破損導致的過量流量。
此外，AP74、AP74B系列沒有流量顯示功能。

奧氏體系不銹鋼，提高了鎳的含量并加入了鉬元素從而提升了材料的耐腐蝕性。

SUS316的低碳鋼，SUS316的特點之外還具有抗晶間腐蝕性的特點。

與普通的SUS316L相比，其材料中含有的雜質成分降低至極限的高品質材料。
APtech的材料符合SEMI標準F20的UHP等級。

Haynes國際公司的注冊商標。
鎳鉻鉬合金，具有良好的耐腐蝕性。

ELGILOY特種金屬公司的注冊商標。
鈷鉻鎳合金,具有優(yōu)秀的耐腐蝕性和高彈性。作為隔膜閥的隔膜的材料使用。

聚氯三氟乙烯。高透明度、高硬度的氟樹脂，具有良好的低溫特性。被用作為減壓閥及隔膜閥的標準（閥芯）座的材料。

PTFE為全氟樹脂，在化學上具有穩(wěn)定性。與PCTFE相比，具有同等以上的耐化學性。是減壓閥AP500、AP, AZ＆AK1000、AP＆AZ1100、AZ＆AK1300的（閥芯）座材料的可選材料。將減壓閥作為過程工具使用時，推薦選擇使用PTFE（閥芯）座的。

杜邦公司的注冊商標。
耐高溫塑料（聚酰亞胺樹酯）。具有優(yōu)良的耐熱性和耐磨性。是在使用高溫規(guī)格及N2O或CO2等特定氣體時（閥芯）座的材料。

聚醚醚酮。作為熱塑性樹脂具有優(yōu)異的耐熱性。并且具有良好的耐疲勞性和耐化學性。
是減壓閥的（閥芯）座材料的選擇。

杜邦公司的注冊商標。
氟橡膠（FKM）。具有良好的耐熱性和耐化學性。

杜邦公司的注冊商標。
高氟橡膠（FFKM）。具有比氟橡膠更好的耐熱性和耐化學性。

將金屬零件浸于電解液中并通電，使其表面變得平滑、光亮的技術。

將金屬部件浸入硝酸等處理液中，使其在表面形成鈍化膜，以提升其耐腐蝕性。

在套筒的前端安裝金屬墊片，并通過擰緊螺母從而形成密封的接頭，從真空到正壓均表現(xiàn)出良好的密封性。

在氣動元件進行配管時，不使用接頭直接對配管進行焊接。

咬合式管接頭，使用雙重套圈，并通過擰緊螺母使套圈與配管咬合從而連接。

美式管用圓錐螺紋標準。

表示主體內表面（接氣部）的表面粗糙度。Ra是粗糙度的算術平均值，是參考長度下表面形狀峰谷的平均值。
Ra max是任意部分的多個粗糙度算術平均值Ra的測量值中最大的數(shù)值。

閥的容量系數(shù)。表示15.6℃的水在一定壓力差下流過閥時的流量的數(shù)值。計算方法符合SEMI標準的F32。該數(shù)值為減壓閥全開狀態(tài)下的值。

單向閥壓力上升，閥開始打開，達一定流量時的壓力。

真空發(fā)生器所能產生的真空壓力的最大值。

Standard Liter（升）/min的縮寫。
表示0℃、1個大氣壓下1分鐘的體積流量。

表示減壓閥的輸入壓力保持在一定狀態(tài)，將設定壓力（輸出壓力）設定在某一數(shù)值后，隨著輸入壓力的變化而引起的輸出壓力變化量。

產品內部的壓力低于外部壓力時發(fā)生的，從產品外部向內部泄漏的量。檢測時需要將產品內部置于真空，從外部吹氦氣，檢測進入內部的氦氣。檢測方法符合SEMI標準F1。

產品內部的壓力高于外部壓力時發(fā)生的，從產品內部向外部泄漏的量。檢測時需要向產品內部充填氦氣，檢測泄露到外部的氦氣。檢測方法符合SEMI標準F1。此外，產品目錄記載的外側泄露值為鐘罩法測量的數(shù)值。

產品內部的閥座部分的泄漏量。檢測方法符合SEMI標準F1。此外，產品目錄記載的減壓閥內部泄漏值為鐘罩法測量的數(shù)值。

泄漏檢測方法的一種，將封入氦氣的試驗體置于鐘罩（真空容器）內，并連接上鐘罩內的檢漏器，檢測試驗體泄露至鐘罩內的氦氣。

半導體、平板顯示器、納米技術、MEMS、太陽能發(fā)電、其他相關技術的制造設備·材料·提供相關服務的企業(yè)的國際產業(yè)協(xié)會（SEMI）發(fā)行的自愿性標準。