高真空閥
鋁制高真空L型閥 XLA/C/F/G
| 系列 | 操作方式 | 閥形式 | 軸密封 方式 | 用途 | 法蘭 尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| XLA-2 | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | 波紋管密封 | 無(wú)塵 清潔化 | 16～80 |
| XLAV-2（帶電磁閥） | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | 波紋管密封 | 無(wú)塵 清潔化 | 16～80 |
| XLC-2 | 氣控式 | 雙作用 | 波紋管密封 | 無(wú)塵 清潔化 | 16～80 |
| XLF-2 | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | O形圈密封 | 高速動(dòng)作 高動(dòng)作次數(shù) | 16～80 |
| XLFV-2（帶電磁閥） | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | O形圈密封 | 高速動(dòng)作 高動(dòng)作次數(shù) | 16～80 |
| XLG-2 | 氣控式 | 雙作用 | O形圈密封 | 高速動(dòng)作 高動(dòng)作次數(shù) | 16～80 |
鋁材質(zhì)高真空L型閥 XLA/C-100?160（-1）-X152
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?波紋管耐久性提升（法蘭尺寸100、160）
?壽命：200萬(wàn)次
?可實(shí)現(xiàn)裝置的省空間化
無(wú)排氣方向限制(閥體側(cè)←→波紋管側(cè) 兩方向均可)
安裝姿勢(shì)的自由度提升
?輕量、緊湊
| 系列 | 操作方式 | 閥形式 | 軸密封方式 | 用途 | 法蘭尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| LA-100?160-X152 | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | 波紋管密封 | 無(wú)塵 清潔化 | 100，160 |
| XLC-100?160-1-X152 | 氣控式 | 雙作用 | 波紋管密封 | 無(wú)塵 清潔化 | 100，160 |
鋁制高真空L型閥 XL□
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?耐氟性強(qiáng)
?氣體溢出少
?重金屬污染小
※法蘭尺寸16?80的XLA/C/F/G已進(jìn)行了產(chǎn)品變更。
請(qǐng)選擇XLA-2/XLC-2/XLF-2/XLG-2系列。
安全注意事項(xiàng) 系統(tǒng)構(gòu)成/擴(kuò)展品 特定開(kāi)發(fā)品信息 磁性開(kāi)關(guān)規(guī)格 環(huán)保認(rèn)證(RoHS)
| 系列 | 操作方式 | 閥形式 | 軸密封 方式 | 用途 | 法蘭 尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| XLA | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | 波紋管密封 | 無(wú)塵 清潔化 | 16～160 |
| XLAV（帶電磁閥） | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | 波紋管密封 | 無(wú)塵 清潔化 | 16～160 |
| XLC | 氣控式 | 雙作用 | 波紋管密封 | 無(wú)塵 清潔化 | 16～160 |
| XLCV（帶電磁閥） | 氣控式 | 雙作用 | 波紋管密封 | 無(wú)塵 清潔化 | 16～80 |
| XLF | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | O形圈密封 | 高速動(dòng)作 高動(dòng)作次數(shù) | 16～160 |
| XLFV（帶電磁閥） | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | O形圈 | 高速動(dòng)作 高動(dòng)作次數(shù) | 16～160 |
| XLG | 氣控式 | 雙作用 | O形圈 | 高速動(dòng)作 高動(dòng)作次數(shù) | 16～160 |
| XLGV（帶電磁閥） | 氣控式 | 雙作用 | O形圈 | 高速動(dòng)作 高動(dòng)作次數(shù) | 16～80 |
| XLD | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | 波紋管密封 O形圈密封 | 防止揚(yáng)塵 防止泵過(guò)載 | 25～160 |
| XLDV（帶電磁閥） | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | 波紋管密封 O形圈密封 | 防止揚(yáng)塵 防止泵過(guò)載 | 25～160 |
| XLH | 手動(dòng)式 | 手動(dòng) | 波紋管密封 | 無(wú)塵 清潔化 | 16～50 |
| XLS | 電磁式 | 單作用 （N.C.） | (波紋管平衡) | 無(wú)需空氣 可搬運(yùn)裝置用 | 16，25 |
鋁制快速裝卸型 高真空L型閥 XLAQ?XLDQ
安全注意事項(xiàng) 系統(tǒng)構(gòu)成/擴(kuò)展品 特定開(kāi)發(fā)品信息 磁性開(kāi)關(guān)規(guī)格 環(huán)保認(rèn)證(RoHS)
| 系列 | 操作方式 | 軸密封 方式 | 閥形式 | 材質(zhì) | 法蘭 尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| XLAQ | 氣控式 | 波紋管密封 | 單作用 （N.C.） | 主體：鋁 波紋管：SUS316L | 16～50 |
| XLDQ | 氣控式 | 波紋管密封 O形圈密封 | 單作用 （N.C.） | 主體：鋁 波紋管：SUS316L | 40，50 |
不銹鋼制高真空L型／直通型閥 XM/XY
安全注意事項(xiàng) 系統(tǒng)構(gòu)成/擴(kuò)展品 特定開(kāi)發(fā)品信息 磁性開(kāi)關(guān)規(guī)格 環(huán)保認(rèn)證(RoHS)
| 系列 | 操作方式 | 軸密封 方式 | 閥形式 | 材質(zhì) | 法蘭 尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| XMA/XYA | 氣控式 | 波紋管密封 | 單作用 （N.C.） | 主體：SCS13（相當(dāng)于SUS304） 波紋管：SUS316L | 16～80 注） |
| XMC/XYC | 氣控式 | 波紋管密封 | 雙作用 | 主體：SCS13（相當(dāng)于SUS304） 波紋管：SUS316L | 16～80 注） |
| XMD/XYD | 氣控式 | 波紋管密封 O形圈密封 | 單作用 （N.C.） | 主體：SCS13（相當(dāng)于SUS304） 波紋管：SUS316L | 25～80 |
| XMH/XYH | 氣控式 | 波紋管密封 | 手動(dòng) | 主體：SCS13（相當(dāng)于SUS304） 波紋管：SUS316L | 16～50 注） |
常閉型高真空電磁閥 XSA
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?最低使用壓力：1×10-6Pa(abs)
?泄漏量：內(nèi)部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s
?備有2種接頭、內(nèi)螺紋
?消耗功率：最大減少25%
?重量：最大減輕18% 0.5kg→0.41kg
| 系列 | 閥形式 | 使用流體 | 配管連接方式 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| XSA | 常閉 | 空氣 惰性氣體 | 面密封接頭 卡套式接頭 | 1/4, 3/8 |
| XSA | 常閉 | 空氣 惰性氣體 | Rc, NPT內(nèi)螺紋 | 1/8, 1/4, 3/8 |
平穩(wěn)通氣閥 XVD
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?閥和針閥一體化的結(jié)構(gòu)，配管空間減少1/4（與以前產(chǎn)品相比）
?密封部采用金屬膜片，微粒大幅減少
?可同時(shí)對(duì)初期供氣、主供氣進(jìn)行流量調(diào)整
| 系列 | 閥形式 | 使用流體 | 配管連接方式 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| XVD | 常閉 （加壓打開(kāi)?彈簧密封） | 氮?dú)?、空氣?br/>惰性氣體等 | VCR? Swagelok? | 1/4B |
