工藝氣體用元件
減壓閥（壓力調(diào)節(jié)器） 高純度工藝氣體用 AP/SL/AP/AZ
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?適合半導(dǎo)體等需要供給高潔凈度氣體的行業(yè)。
?主體材質(zhì)為SUS316L二次熔煉或SUS316L。
?接觸氣體部分經(jīng)過電解研磨處理。
?外部金屬密封構(gòu)造。
| 系列 | 形式 | 用途 | 主體材質(zhì) | 配管連接 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| AP/SL | 一段式 | 管路用（小型） | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4''，3/8'' |
| AP/SL | 一段式 | 管路用 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4''，3/8'' 1/2''，3/4'' |
| AP/SL | 一段式 | 大宗氣體用 | SUS316L | 面密封接頭 管焊接 | 1/2''，3/4''，1'' |
| AP/SL | 一段式 | 一次側(cè)高壓用 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4''，3/8'' 1/2''，3/4'' |
| AP/SL | 一段式 | 負壓調(diào)節(jié) | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4''，3/8'' 1/2''，3/4'' |
| AP | 二段式 | 一次側(cè)高壓用 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4''，3/8'' |
| AZ | 一段式 | 管路用 | SUS316L | 面密封接頭 管焊接 | 1/4''，3/8'' 1/2'' |
| AZ | 一段式 | 一次側(cè)高壓用 | SUS316L | 面密封接頭 管焊接 | 1/4''，3/8'' 1/2'' |
| AZ | 一段式 | 負壓調(diào)節(jié) | SUS316L | 面密封接頭 管焊接 | 1/4''，3/8'' 1/2'' |
減壓閥（壓力調(diào)節(jié)器）／背壓閥 一般氣體用 AK/BP
| 系列 | 型號 | 用途 | 主體材質(zhì) | 配管連接 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| AK | 一段式 | 氣路用 | SUS316 或黃銅 | NPT內(nèi)螺紋 卡套式接頭 | 1/4''，3/8'' 1/2'' |
| AK | 一段式 | 一次側(cè)高壓用 | SUS316 或黃銅 | NPT內(nèi)螺紋 卡套式接頭 | 1/4''，3/8'' 1/2'' |
| AK | 一段式 | 負壓調(diào)節(jié) | SUS316 或黃銅 | NPT內(nèi)螺紋 卡套式接頭 | 1/4''，3/8'' 1/2'' |
| AK | 二段式 | 一次側(cè)高壓用 | SUS316 或黃銅 | NPT內(nèi)螺紋 卡套式接頭 | 1/4'' |
| BP | 背壓閥 | ― | SUS316 或黃銅 | NPT內(nèi)螺紋 卡套式接頭 | 1/4'' |
膜片閥 高純度工藝氣體用 AP
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?用于半導(dǎo)體等需要高潔凈度氣體的行業(yè)。
?可作為氣體的切斷閥使用。
?接觸氣體部分無彈簧，驅(qū)動部也使用膜片隔離，因此減小了氣路的死區(qū)，抑制了粒子的產(chǎn)生。
| 系列 | 形式 | 主體材質(zhì) | 配管連接 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| AP | 氣控型 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4''，3/8'' 1/2''，3/4'' |
| AP | 小型 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4''，3/8'' 1/2''，3/4'' |
隔膜閥 高純度工藝氣體用 AZ
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?用于精密洗凈及潔凈室組裝。
?全部產(chǎn)品均經(jīng)過了氦氣泄漏檢測。
?符合SEMI規(guī)格
?采用方便作業(yè)的鍛造主體。
| 系列 | 形式 | 主體材質(zhì) | 配管連接 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| AZ | 氣控型 | SUS316L | 面密封接頭 管子焊接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
| AZ | 手動型 | SUS316L | 面密封接頭 管子焊接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
單向閥／真空發(fā)生器／流量開關(guān) AP
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［單向閥］
?防止背壓使流體逆流。
?構(gòu)造簡單，內(nèi)部的可動零部件僅為O形圈。
?采用無彈簧的構(gòu)造，可減少因震顫等產(chǎn)生的顆粒，降低下游的壓力變動。
［真空發(fā)生器］
?真空發(fā)生器。
?用于更換氣罐時，排出配管中殘余的氣體。
［流量開關(guān)］
?檢測配管破裂等造成的過剩流量。
| 系列 | 形式 | 主體材質(zhì) | 配管連接 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| AP | 單向閥 | SUS316L二次熔煉 | 面密封接頭 管子焊接 | 1/4''，3/8'' |
| AP | 真空發(fā)生器 | SUS316L | 面密封接頭 管子焊接 | 1/4''，3/8'' |
| AP | 流量開關(guān) | SUS316L二次熔煉 SUS316L | 面密封接頭 管子焊接 | 1/2''，3/4'' |
膜片閥 一般氣體用 AK
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?全系列的配管連接均可選擇Rc, R或NPT。
?從半導(dǎo)體到一般行業(yè)都可使用的標準型。
?可用于精密洗凈。
?降低執(zhí)行器的高度，實現(xiàn)產(chǎn)品的小型、輕量化（AK3542, 4542）。
?操做通口為M5螺紋（AK3542, 4542）。
?手輪構(gòu)造經(jīng)過改良、實現(xiàn)了產(chǎn)品的小型、輕量化（AK3652, 4652）。
?采用有凹凸的圓形手輪，更便于操作和確認（AK3652, 4652）。
| 系列 | 形式 | 主體材質(zhì) | 配管連接 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| AK | 氣控型 | SUS316 | 卡套式接頭 Rc, R, NPT | 1/4''，3/8'' |
| AK | 手動型 | SUS316 | 卡套式接頭 Rc, R, NPT | 1/4''，3/8'' |
減壓閥／一般氣體用 AK1000T
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?從半導(dǎo)體到一般行業(yè)均可使用的標準型。
?產(chǎn)品體型小、重量輕。
質(zhì)量：0.52kg、高：97.5mm。
?內(nèi)部容積小，其體積存量少。
?配管擴展品
可從壓縮接頭、NPT內(nèi)螺紋、Rc螺紋中選擇。
| 系列 | 形式 | 主體材質(zhì) | 配管連接 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| AK1000T | 手動型 | SUS316 | 壓縮接頭 Rc, NPT | 1/4''，3/8'' |
